1 台脉冲发生器/1 台 SMU
1 μA - 10 A
1 μV - 10 V
100 fA - 10 A
100 nV - 40 V
脉冲发生器：0.05%
SMU：0.015%
1 M 个读数/秒
1 台脉冲发生器/1 台 SMU
1 μA - 10 A
1 μV - 10 V
100 fA - 10 A
100 nV - 40 V
脉冲发生器：0.05%
SMU：0.015%
1 M 个读数/秒
